溅射式真空镀膜机 需要加热的是什么部分?

真空溅射镀膜机的加热部分叫什么名字 真空镀膜蒸发溅射我是刚上手的镀膜工.做的是电子业的晶片镀膜.问下.在溅射的时候如何准确的控制膜厚.我们公司的镀膜机是比较 蒸发式真空镀膜机的工作原理 真空镀膜机的详细结构 真空镀膜机的结构原理 真空镀膜机的结构?不用那么详细 只要知道它大致分那几部分 即可. 我想知道真空镀膜机的原理 真空镀膜机的．旋片泵,扩散泵,滑阀泵,的作用是什么,求行家解答, 真空镀膜机的,粗抽阀,前级阀,精抽阀,它们的作用是什么,求行家解答, 真空镀膜原理是什么? 真空镀膜镀不上的原因溅射靶材一切完好,电源都是好的,玻璃从真空仓室出来之后,完全是玻璃原片,请各位前辈提点一二!是ITO 真空镀膜机原理真空镀膜机的原理 如何调节电阻 希望知道朋友回答