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2级罗茨泵不能抽到极限真空?

来源：学生作业帮 编辑：大师作文网作业帮 分类：综合作业 时间：2024/11/19 22:05:33
2级罗茨泵不能抽到极限真空?
一级是机械泵 二级是罗茨泵 三级是扩散泵,现在好像是二级泵出了点问题,前面两个机组同时工作的时候抽不到设定的负压.而单开机械泵就可以抽到设定的负压.请问是怎么回事?
2级罗茨泵不能抽到极限真空?
1.首先你要排除真空室是否有漏气的可能,如果机械泵+罗茨泵共同工作时抽不到设定的负压,一是这套系统可能有问题,二是真空系统可能有漏气的地方.
2.你现在机械泵+罗茨泵可以抽真空到多少?能进-1Pa么?
3.检查一下泵油是否需要更换.
4.如果你怀疑罗茨泵的问题,可以检查一下罗茨泵的轴封,罗茨泵的轴封是一个容易发生问题的地方.
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