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现在一般的太阳能电池的减反射膜是怎么做的?如何用二氧化硅和氮化硅制作?

来源:学生作业帮 编辑:大师作文网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/11/11 21:55:00
现在一般的太阳能电池的减反射膜是怎么做的?如何用二氧化硅和氮化硅制作?
现在一般的太阳能电池的减反射膜是怎么做的?如何用二氧化硅和氮化硅制作?
PECVD沉积
再问: 可以淀积二氧化硅和氮化硅么?
再答: 可以
再问: 谢谢,我想知道的是这两项的厚度,比例与安排
再答: 100nm/80nm左右,具体是工艺控制, 单独控制