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气相沉积 化学气相沉积中典型的化学反应有哪些?

来源：学生作业帮 编辑：大师作文网作业帮 分类：综合作业 时间：2024/11/18 06:50:22
气相沉积
化学气相沉积中典型的化学反应有哪些?
气相沉积 化学气相沉积中典型的化学反应有哪些?
cvd
1.硅烷分解成硅和氢气 硅沉积
2.还原：四氯化硅和氢气成硅和氯化氢
3.氧化：硅烷加氧气成二氧化硅沉积和氢气
4.等等.
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