如何减少硅片翘曲度

来源：学生作业帮编辑：大师作文网作业帮分类：综合作业时间：2024/11/12 13:26:35

如何减少硅片翘曲度

硅片的翘曲可能是由热应力引起的,所以应减小热应力.主要方法是降低硅片加工过程中的升温和降温速率；其次,适当拉开硅片间的间距.

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