大师作文网RF-MEMS是什么技术?
来源：学生作业帮 编辑：大师作文网作业帮 分类：综合作业 时间：2024/11/06 10:56:26
RF-MEMS是什么技术?
所谓RF MEMS是用MEMS技术加工的RF产品.RF-MEMS技术可望实现和MMIC的高度集成,使制作集信息的采集、处理、传输、处理和执行于一体的系统集成芯片（SOC）成为可能.按微电子技术的理念,不仅可以进行圆片级生产、产品批量化,而且具有价格便宜、体积小、重量轻、可靠性高等优点.
RF MEMS器件主要可以分为两大类：一类称为无源MEMS,其结构无可动零件；另一类称为有源MEMS,有可动结构,在电应力作用下,可动零件会发生形变或移动.其关键加工技术分为四大类：平面加工技术、体硅腐蚀技术、固相键合技术、LIGA技术.
RF MEMS器件主要可以分为两大类：一类称为无源MEMS,其结构无可动零件；另一类称为有源MEMS,有可动结构,在电应力作用下,可动零件会发生形变或移动.其关键加工技术分为四大类：平面加工技术、体硅腐蚀技术、固相键合技术、LIGA技术.