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三氯氢硅含硼问题我们 厂三氯氢硅纯度是合格的就 是 硼磷有些偏高.有什么 好 的控制法方吗

来源:学生作业帮 编辑:大师作文网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/11/12 11:50:23
三氯氢硅含硼问题
我们 厂三氯氢硅纯度是合格的就 是 硼磷有些偏高.有什么 好 的控制法方吗
三氯氢硅含硼问题我们 厂三氯氢硅纯度是合格的就 是 硼磷有些偏高.有什么 好 的控制法方吗
可能你们厂的三氯氢硅精馏的回流比有点问题,或者精馏塔高度不够,三氯氢硅是作单晶硅和多晶硅的原料,只有控制好三氯氢硅的质量,才能做出合格的多晶硅和单晶硅,提高三氯氢硅的质量只有依靠精馏.