大师作文网改良西门子法制备多晶硅还原炉内实际条件
来源：学生作业帮 编辑：大师作文网作业帮 分类：综合作业 时间：2024/09/21 21:47:58
改良西门子法制备多晶硅还原炉内实际条件
还原炉内实际的操作条件（温度,压强,初始进料比）是什么?数据来自什么文章（最好把文章名字,作者,文章出处等写出来）,在线等,谢谢了.
还原炉内实际的操作条件（温度,压强,初始进料比）是什么?数据来自什么文章（最好把文章名字,作者,文章出处等写出来）,在线等,谢谢了.
我最早接触的是国家院士 梁骏吾的文章《 电子级多晶硅生产工艺》 ,这个资料你可以了解了解.我们现在实际操作的的是温度1050~1080.压强0.6MPa.进料比理论计算是6~7：1,实际操作是8：1.大多数是内部资料.
再问： 实际温度才1050~1080？
再答： 怎么说呢，还原炉内的反应方程式很多，我们姑且就考虑热分解和还原两种反应。虽说我们都希望还原炉内是以还原反应为主，但是现在全国都考虑到生长速度问题。热分解的摩尔比小的，硅的生长速度就快的。我不知道你是否清楚现在的多晶硅厂生产一吨多晶硅大约有12~18吨左右的四氯化硅产生。现在的多晶硅厂多是以热分解为主导反应。还原炉操作温度在可控的一个范围。1080~1200都有。给你确切的数据那都是理论的。
再问： 实际温度才1050~1080？
再答： 怎么说呢，还原炉内的反应方程式很多，我们姑且就考虑热分解和还原两种反应。虽说我们都希望还原炉内是以还原反应为主，但是现在全国都考虑到生长速度问题。热分解的摩尔比小的，硅的生长速度就快的。我不知道你是否清楚现在的多晶硅厂生产一吨多晶硅大约有12~18吨左右的四氯化硅产生。现在的多晶硅厂多是以热分解为主导反应。还原炉操作温度在可控的一个范围。1080~1200都有。给你确切的数据那都是理论的。