为什么整个光刻步骤要在黄光照明的暗室内进行

来源：学生作业帮编辑：大师作文网作业帮分类：物理作业时间：2024/11/12 22:01:57

这是有历史原因的.
早期的光刻胶一般对黄光不敏感,而对其他波长的光比较敏感,因此clean room里面的照明一般都是黄光照明,避免了光辐照后可能产生酸或产生交联（和曝光的效果一样,只是剂量少一点）；现在很多光刻胶的光学性质发生了很大改变,不一定只是黄光才不敏感.但是之前一直用黄光照明,那么就一直沿用下来了.
另一个原因是,光刻过程中可能需要很多光刻胶,万一用到一种早期光刻胶呢?所以还是用黄光比较保险.

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