真空溅射镀膜机镀铝靶我的真空溅射镀膜机镀Ag时正常,用兆欧表测绝缘电阻为0.1兆欧.换铝靶后,绝缘电阻为0.3兆欧,功率

来源：学生作业帮编辑：大师作文网作业帮分类：物理作业时间：2024/09/24 09:30:13

真空溅射镀膜机镀铝靶
我的真空溅射镀膜机镀Ag时正常,用兆欧表测绝缘电阻为0.1兆欧.换铝靶后,绝缘电阻为0.3兆欧,功率加不上去,从小到大逐步调节功率,每次溅射正常,到要求值后溅射正常.三天之后换其他材料靶.今天又换上会铝靶,绝缘电阻为0.3兆欧,功率加不上去,从小到达逐步调节功率,0.1KW正常,电压275v;0.5KW功率上不去,只有0.07KW,电压不到100v,这是为何?另靶的绝缘最少要有多少?
(靶是磁控靶）

主要原因不是功率,而是铝靶在空气暴露时（即使充气的一瞬间）迅速被氧化,氧化铝的溅射产额非常低,需要将这层氧化铝清除完毕后,才到溅射纯铝的状态,电压才会正常,这个过程就是常说的洗靶.纯铝氧化速度很快,如换做其他不易氧化的靶材,洗靶过程会大大缩短.

真空溅射镀膜机镀铝靶我的真空溅射镀膜机镀Ag时正常,用兆欧表测绝缘电阻为0.1兆欧.换铝靶后,绝缘电阻为0.3兆欧,功率我单位的真空溅射镀膜机今天换了铝靶后开机运行,mp5刚加功率就放炮了,测靶与壳体电阻,200k欧档为90k欧,2000k 真空溅射镀膜机的加热部分叫什么名字用兆欧表怎样测电动机的绝缘电阻兆欧表怎么样测电缆绝缘电阻? 为什么用兆欧表测量绝缘电阻? 真空蒸镀与溅射镀膜优缺点真空溅射镀膜机器可放几种靶材? 如何使用兆欧表24V低压电路,正极对地之间的绝缘阻值为20兆欧姆,负极对地之间的绝缘电阻为50兆欧姆是否正常? 电机绝缘电阻的问题37KW电机测得相相间绝缘电阻分别为15兆欧,10兆欧,4兆欧,对地都为200兆欧左右, 用兆欧表测量绝缘电阻时为什么规定摇测时间为1分钟? 没有兆欧表怎样测电机的绝缘电阻